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헬륨 리크 테스터

분자 측정 레벨로 리크 측정이 필요한 경우는 일반 에어 대신 질량 측정기를 (mass spectrometer) 사용하는 특수 탐색 가스 방식을 적용하는데
소재의 리크가 있는 경우 진공도가 높은 진공 챔버 내에서 미세하게 방출된 탐색 가스를 질량 측정기로 바로 리크량 측정 가능하며 별도로 sniffer
사용시 (sniffer를 로봇에 장착, 자동화 가능) 리크 지점까지 찾아낼 수 있으며 주로 아래의 소재에 에어 리크 테스터와 병행해서 적용합니다.
  • 토크 컨버터
  • 알루미늄 휠 rim
  • 냉동 컴프레서
  • Barrel 용기
  • 열 교환기
  • 서모 밸브
  • 가스 미터
헬륨 리크 테스트 시스템의 정밀도는 에어 리크 테스트 방식으로 실제 생산 설비 적용 가능한 측정 정밀도인 0.1 ~ 1.0 Std cm³/min 에서부터
시작됩니다. 양산 라인에서 상대적으로 짧은 사이클 타임으로 10-6 Torr Ltr/sec 정도의 리크량은 쉽게 검출이 가능합니다.